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CVD金刚石
CVD金刚石采用甲烷和氢气作为前驱体,在高温(约1000℃)、常压(1大气压)或低压条件下,以天然金刚石、HPHT金刚石或CVD金刚石衬底作为基底,以气相外延的方式生长CVD金刚石,CVD金刚石可分为CVD单晶金刚石和CVD多晶金刚石,广泛应用于超精密刀具、半导体、光学材料、导弹、航天、激光器、电子器件等领域。
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